金融界2024年7月28日消息,天眼查知识产权信息显示,山东华光光电子股份有限公司申请一项名为“一种大功率半导体激光器晶圆P面图形化电镀金的方法“,公开号CN3.7,申请日期为2024年4月。
专利摘要显示,本发明涉及一种大功率半导体激光器晶圆P面图形化电镀金的方法,属于大功率半导体激光器电镀金电极技术领域。本发明大功率激光器的待镀金区域为薄金种子层,非镀金区域为纳米级SiO2绝缘层,代替了较厚的光刻胶绝缘层,从而降低电镀后大功率半导体激光器图形化的偏离度,改善纵向发散角;同时,此方法为全覆盖TiPtAu种子层,无需剥离去除非镀金区上的TiPtAu种子层,在非镀金区上生长纳米级SiO2绝缘层,保证了整个晶圆的导电性一致,镀层均匀性稳定在10%内,有利于大功率半导体激光器的焊线封装。此方法也避免了碱性电镀液中光刻胶的溶解,避免了电镀液的污染和电镀镀层的污染,大大提高了镀层金属良率和电镀液的利用率。
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